Diferencia entre PVD y CVD

PVD vs CVD

PVD (Deposición de Vapor Física) y CVD (Deposición de Vapor Química) son dos técnicas que se utilizan para crear una capa muy delgada de material en un sustrato; comúnmente conocido como películas delgadas. Se utilizan en gran parte en la producción de semiconductores donde capas muy delgadas de materiales tipo n y tipo p crean las uniones necesarias. La principal diferencia entre PVD y CVD es el proceso que emplean. Como ya puede haber deducido de los nombres, PVD solo usa fuerzas físicas para depositar la capa, mientras que CVD usa procesos químicos.

En PVD, un material de origen puro se gasifica mediante evaporación, la aplicación de electricidad de alta potencia, la ablación por láser y algunas otras técnicas. El material gasificado se condensará en el material del sustrato para crear la capa deseada. No hay reacciones químicas que tengan lugar en todo el proceso.

En CVD, el material de origen no es realmente puro, ya que se mezcla con un precursor volátil que actúa como un portador. La mezcla se inyecta en la cámara que contiene el sustrato y luego se deposita en ella. Cuando la mezcla ya está adherida al sustrato, el precursor finalmente se descompone y deja la capa deseada del material de origen en el sustrato. El subproducto se retira de la cámara a través del flujo de gas. El proceso de descomposición puede ser asistido o acelerado mediante el uso de calor, plasma u otros procesos.

Ya sea a través de CVD o PVD, el resultado final es básicamente el mismo, ya que ambos crean una capa muy delgada de material en función del grosor deseado. CVD y PVD son técnicas muy amplias con varias técnicas más específicas bajo ellas. Los procesos reales pueden ser diferentes pero el objetivo es el mismo. Algunas técnicas pueden ser mejores en ciertas aplicaciones que otras debido al costo, la facilidad y una variedad de otras razones; por eso son preferidos en esa zona.

Resumen:

  1. PVD usa procesos físicos solo mientras CVD usa principalmente procesos químicos
  2. PVD normalmente utiliza un material de origen puro, mientras que CVD utiliza un material de origen mixto